타원해석법을 사용한 고분자박막의 토께 및 복소굴절률 결정

Determination of thickness and refractive index of polymer thin films using Spectroscopic Ellipsometry

  • 길현옥 (아주대학교 자연과학 대학) ;
  • 김상준 (아주대학교 자연과학 대학) ;
  • 방현용 (아주대학교 자연과학 대학) ;
  • 전종택 (아주대학교 공과대학) ;
  • 이석현 (아주대학교 공과대학) ;
  • 원영희 (아주대학 교 자연과학 대학) ;
  • 김상영 (아주대학교 자연과학 대학)
  • 발행 : 1997.08.01