s-파 무반사 조건을 사용한 단결정 실리콘과 이산화 규소의 계면 구조 결정

Determination of the interface structure between a silicon dioxide layer and its crystalline silicon substrate by the s-wave antireflection

  • 조용재 (한국표준과학연구원 양자연구부 영상그룹) ;
  • 조현모 (한국표준과학연구원 양자연구부 영상그룹) ;
  • 이윤우 (한국표준과학연 구원 양자연구부 영상그룹) ;
  • 이인원 (한국표준과학연구원 양자연구부 영상그룹) ;
  • 방현용 (아주대학교 물리학과) ;
  • 김상렬 (아주대학교 물리학과)
  • 발행 : 1997.08.01