대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 1997년도 하계학술대회 논문집 C
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- Pages.1475-1477
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- 1997
새로운 LDD 구조의 다결정 실리콘 박막 트랜지스터
A Novel LDD Structured Polysilicon Thin-Film Transistors
- 황성수 (명지대학교 전기공학과) ;
- 김동진 (명지대학교 전기공학과) ;
- 김용상 (명지대학교 전기공학과) ;
- 최권영 (서울대학교 전기공학부) ;
- 한민구 (서울대학교 전기공학부) ;
- 박진석 (한양대학교 전기공학과)
- Hwang, S.S. (Myongji University) ;
- Kim, D.J. (Myongji University) ;
- Kim, Y.S. (Myongi University) ;
- Choi, K.Y. (Seoul Nat'l University) ;
- Han, M.K. (Seoul Nat'l University) ;
- Park, J.S. (Hanyang University)
- 발행 : 1997.07.21
초록
We have fabricated a novel LDD structured polysilicon thin film transistor with a simple fabrication process, compared with the conventional LDD poly-Si TFT, without LDD implantation by employing taper etched
키워드