Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1996.11a
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- Pages.108-109
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- 1996
The study of Si Wafer surface using AFM
AFM을 이용한 실리콘 웨이퍼 표면 연구
- Lee, Seong-Ho ;
- Kim, Hong-Rak ;
- Seo, Gwang ;
- Kang, Seong-Geon ;
- Kim, Dong-Su ;
- Ryu, Geun-geol
- 이성호 (포항산업과학연구원) ;
- 김홍락 (포항산업과학연구원) ;
- 서광 (포항산업과학연구원) ;
- 강성건 (포항산업과학연구원) ;
- 김동수 (포항산업과학연구원) ;
- 류근걸 (포항산업과학연구원)
- Published : 1996.11.01
Abstract
Keywords