Minority-Carrier Lifetime Extension in Silicon MOS Devicesby Intrinsic Gettering

Intrinsic Gettering에 의한 MOS 소자의 소수 전도체 수명 연장에 관한 연구

  • 장병남 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 이원섭 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 최광수 (수원대학교 전자재료공학과)
  • Published : 1996.11.01