HVPE법에 의한 후막 GaN 성장과 특성

Growth and Properties of Thick-Film GaN by HVPE Method

  • 이영주 (대전산업대학교 재료공학과) ;
  • 김선태 (대전산업대학교 재료공학과)
  • 발행 : 1996.11.01