한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

Rf Magnetron Sputtering으로 증착된 RuO$_2$ 박막의 미세구조 및 계면 반응 특성 분석

Microstructure and Interface Reaction of RuO$_2$ thin film deposited by Rf Magnetron Sputtering

  • 배준철 (포항공과대학교 재료금속공학과) ;
  • 박찬경 (포항공과대학교 재료금속공학과)
  • 발행 : 1996.11.01
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