Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

A new intermetal dielectric with low dielectric constant : $SiO_2$ aerogel film

저유전상수를 갖는 새로운 금속 층간 절연박막 : $SiO_2$ aerogel film

  • 조문호 (연세대학교 세라믹 공학과) ;
  • 김중정 (연세대학교 세라믹 공학과) ;
  • 박형호 (연세대학교 세라믹 공학과)
  • Published : 1996.11.01
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