Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

DCS/$WF_6$ 유량비에 따른 WSix 물성변화

  • 김의용 (LG 반도체 ULSI연구소 선행공정2실) ;
  • 홍정의 (LG 반도체 ULSI연구소 선행공정2실) ;
  • 나관구 (LG 반도체 ULSI연구소 선행공정2실) ;
  • 김홍석 (LG 반도체 ULSI연구소 선행공정2실)
  • Published : 1996.02.01
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Abstract

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