Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Al-1%Si 박막배선의 구조 효과와 절연보호막 효과에 관한 연구

  • 박영식 (광운대학교 전자재료공학과) ;
  • 김진영 (광운대학교 전자재료공학과)
  • Published : 1996.02.01
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