한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 1995년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.58-61
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- 1995
레이저유기에 의한 GaAs의 건식에칭
Laser induced dry etching of GaAs
- 박세기 (인하대학교 전기공학과) ;
- 이천 (인하대학교 전기공학과) ;
- 최원철 (성균관대학교 물리학과) ;
- 김무성 (한국과학기술연구원 반도체재료센터) ;
- 민석기 (한국과학기술연구원 반도체재료센터) ;
- 안병성 (한국과학기술연구원 CFC 대체센터)
- Park, Se-Ki (dept. of Electric Engineering, Inha University) ;
- Lee, Choen (dept. of Electric Engineering, Inha University) ;
- Choi, Won-Chel (dept. of Physics, SungKyunKwan University) ;
- Kim, Moo-Sung (Korea Institute of Science and Technology) ;
- Min, Suk-Ki (Korea Institute of Science and Technology) ;
- Ahn, Byung-Sung (Korea Institute of Science and Technology)
- 발행 : 1995.05.01
초록
레이저 유기에 대한 GaAs 의 건석에칭에 있어서 기존의
Instead of using CCl
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