Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

TiN/$TiSi_2$-bilayer 형성기구에 관한 연구

  • 최치규 (제주대학교 물리학과) ;
  • 오상식 (제주대학교 물리학과) ;
  • 염병렬 (한국전자통신연구소 소자응용개발실) ;
  • 이수민 (한국전자통신연구소 소자응용개발실) ;
  • 이정용 (한국과학기술원 전자재료공학과) ;
  • 김건호 (경상대학교 물리학과)
  • Published : 1995.02.01
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords