Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Status of the Program for Development and Utilization of Ion Implantation Technology at KAERI

원연의 이온주입기술 개발 및 이용 현황

  • 최병호 (한국원자력연구소 산업용 이온주입과제) ;
  • 김완 (한국원자력연구소 산업용 이온주입과제) ;
  • 정기석 (한국원자력연구소 산업용 이온주입과제) ;
  • 한전건 (성균관대학교 금속공학과) ;
  • 정기형 (서울대학교 원자핵공학과)
  • Published : 1995.02.01
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Abstract

Keywords