Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

1994.11a
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Pages.45-45
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1994

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Comparison of the CVD Cu film on the TiN substrate with the one on the Ni substrate

TiN기판상의 Cu막과 Ni기판상의 Cu막의 특성비교

최시영 (인하대학교 금속공학과) ;
이종무 (인하대학교 금속공학과)

Published : 1994.11.01

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Abstract

Keywords