Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

The effects of the deposition temperature on properties of CVD_Cu films

CVD-Cu film의 특성에 증착온도가 미치는 영향

  • 민재식 (한국과학기술원 전자재료공학과) ;
  • 이원준 (한국과학기술원 전자재료공학과) ;
  • 라사균 (한국과학기술원 전자재료공학과) ;
  • 김동원 (한국과학기술원 전자재료공학과) ;
  • 박종욱 (한국과학기술원 전자재료공학과)
  • Published : 1994.11.01
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