Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

1994.11a
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Pages.12-12
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1994

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

A Study on $TaO_x$ MIM Capacitors for GaAs ICs

GaAs 집적소자용 $TaO_x$ MIM Capactior 연구

김동식 (울산대학교 재료공학과) ;
고정덕 (울산대학교 재료공학과) ;
이재신 (울산대학교 재료공학과) ;
이건환 (한국기계연구원) ;
박철순 (한국전자통신연구소) ;
박형무 (한국전자통신연구소)

Published : 1994.11.01

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Abstract

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