Pt-base Electrodes and the Effect on Characteristics of High-dielectric thin films

Pt-base 전극과 고유전율 박막 특성에 미치는 영향

  • 이원재 (한국과학기술원 무기재료공학과) ;
  • 김영민 (한국과학기술원 무기재료공학과) ;
  • 김호기 (한국과학기술원 무기재료공학과)
  • Published : 1994.11.01