Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Oxygen Plasma effects on the Electrical Properties of the (Ba, Sr)$TiO_3$ Thin Films by RF magnetron Sputtering

RF magnetron sputtering 으로 제조한 (Ba, Sr)$TiO_3$ 박막의 전기적 특성에 대한 산소 plasma의 영향

  • 이원재 (한국과학기술원 무기재료공학과) ;
  • 김호기 (한국과학기술원 무기재료공학과)
  • Published : 1994.05.01
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