Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Characterization of BST Thin Film Deposited by RF Magnetron Sputtering

RF Magnetron Sputtering 으로 BST 증착한 박막의 특성연구

  • 양기덕 (서울대학교 무기재료공학과) ;
  • 조해석 (서울대학교 무기재료공학과) ;
  • 조호진 (서울대학교 무기재료공학과) ;
  • 김형준 (서울대학교 무기재료공학과)
  • Published : 1994.05.01
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Abstract

Keywords