한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

PECVD법에 의한 비정질 실리콘 질화막의 제조 및 특성

  • 박욱동 (경북대학교 전자공학과) ;
  • 김영진 (경북대학교 전자공학과) ;
  • 배승춘 (경북대학교 전자공학과) ;
  • 이경하 (경북대학교 전자공학과) ;
  • 김기완 (경북대학교 전자공학과)
  • 발행 : 1994.02.01
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