한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

원거리 플라즈마 화학증착법에 이한 저온 이산화규소박막의 증착에서 기상반응의 영향

Effect of the gas pphase reaction in the deposition of the low temperature SiO2 thin films by Remote-PECVD

  • 박영배 (포항공대 화학공학과 재료공정연구실) ;
  • 이시우 (포항공대 화학공학과 재료공정연구실) ;
  • 임인곤 (금성사 안양 연구소) ;
  • 박원규 (금성사 안양 연구소) ;
  • 김성철 (금성사 안양 연구소)
  • 발행 : 1994.02.01
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