한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)
- 한국재료학회 1993년도 추계 학술발표 강연 및 논문 개요집
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- Pages.115.2-115
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- 1993
ECR-PECVD $Ta_{2}O_{5}$ 증착시 형성되는 $SiO_2$ 에 관한 연구
A study on the $SiO_2$ layer under ECR-PECVD $Ta_{2}O_{5}$ films
- 안성덕 (한국과학기술원 전자재료공학과) ;
- 김일 (한국과학기술원 전자재료공학과) ;
- 김종석 (한국과학기술원 전자재료공학과) ;
- 권기원 (삼성전자) ;
- 안성태 (삼성전자) ;
- 이원종 (한국과학기술원 전자재료공학과)
- An, Seong-Deok ;
- Kim, Il ;
- Kim, Jong-Seok ;
- Gwon, Gi-Won ;
- An, Seong-Tae ;
- Lee, Won-Jong
- 발행 : 1993.11.01