한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

CVD 반응으로 부터 질화 알루미늄 및 AIN기판 코팅 연구

A study on Coating of AIN and Synthesis of AluMinum Nitride Materal from Chemical vapor deposition

  • 안성권 (충남대 급속응고 신소재 연구소) ;
  • 원창환 (충남대 급속응고 신소재 연구소) ;
  • 손용운 (한국 자원연구소)
  • 발행 : 1993.11.01
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