Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

1993.11a
/
Pages.20-21
/
1993

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

The effect of RF sputter for residue removal on the metal surface

금속 표면에 형성된 잔류막의 제거를 위한 RF sputter의 효과

진승대 (성균관대학교) ;
염근영 (성균관대학교) ;
강진영 (한국전자통신연구소) ;
구진근 (한국전자통신연구소) ;
권광호 (한국전자통신연구소) ;
이진호 (한국전자통신연구소) ;
박형호 (한국전자통신연구소)

Published : 1993.11.01

PDF

⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords