Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

1993.11a
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Pages.19-19
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1993

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Surface properties of Al(Si, Cu) solutions after plasma etching

Al(Si, Cu) 고용체의 플라즈마 식각후 표면특성연구

박형호 (한국전자통신연구소) ;
권광호 (한국전자통신연구소) ;
조경익 (한국전자통신연구소) ;
강영일 (한국전자통신연구소) ;
염근영 (성균관대학교)

Published : 1993.11.01

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Abstract

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