한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

Ion Beam Mixing에 의한 금속/금속 및 금속/실리콘계의 상전이 예측

pprediction of pphase formation and sequence by Ion Beam Mixing in metal/metal and metal/Si systems

  • 최정동 (연세대학교 금속공학과 정련 및 박막재료연구실) ;
  • 백홍구 (연세대학교 금속공학과 정련 및 박막재료연구실) ;
  • 채근화 (연세대학교 물리학과 표면물리연구실) ;
  • 정성문 (연세대학교 물리학과 표면물리연구실) ;
  • 황정남 (연세대학교 물리학과 표면물리연구실)
  • 발행 : 1993.02.01
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