이온채널링분석을 이용한 이온주입 및 열처리 과정에서의 결정결함의 연구

  • 이상환 (한국전자통신연구소 물성분석연구실) ;
  • 김광일 (산업과학기술연구소 전기전자연구분야) ;
  • 권오준 (한국전자통신연구소 물성분석연구실) ;
  • 이경호 (화합물재료기술연구실)
  • 발행 : 1993.02.01