Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Cross-sectional TEM Specimens Preparation of Precisely Selected Regions of Semiconductor Devices Using Focused Ion Beam Milling

이온빔 접속장치에 의한 특정영역에서의 TEM 시편 제작방법

  • 김정태 (현대전자(주) 반도체 연구소) ;
  • 김호정 (현대전자(주) 반도체 연구소) ;
  • 최수한 (현대전자(주) 반도체 연구소)
  • Published : 1992.05.01
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