Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

A Study on the Tungsten Films Prepared by LPCVD on TiW Glue Layer

TiW Giue Layer 위에 화학증착된 텅스텐 박막에 관한 연구

  • 박진성 (한국과학기술원 전자재료공학과) ;
  • 이영종 (한국과학기술원 전자재료공학과) ;
  • 박종옥 (한국과학기술원 전자재료공학과) ;
  • 천성순 (한국과학기술원 전자재료공학과)
  • Published : 1992.05.01
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Abstract

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