한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

Si 및 InP 위에 PECVD법에 의한 $Si_{3}N_{4}$의 증착

Deposition of $Si_{3}N_{4}$ on Si and InP by PECVD

  • 김남준 (현대전자㈜반도체연구소) ;
  • 유순재 (현대전자㈜반도체연구소) ;
  • 김앙서 (현대전자㈜반도체연구소) ;
  • 이두환 (현대전자㈜반도체연구소)
  • 발행 : 1992.05.01
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