한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

Silane Gas를 이용한 Medium Temperatrue Oxide Thin Film의 특성

Charaacteristecs of Medium Temperature Oxide Thin Film Using Silane Gas

  • 이석희 (현대저자 산업 주식 회사, 반도체 연구소) ;
  • 이현우 (현대저자 산업 주식 회사, 반도체 연구소) ;
  • 김종철 (현대저자 산업 주식 회사, 반도체 연구소) ;
  • 박헌섭 (현대저자 산업 주식 회사, 반도체 연구소)
  • 발행 : 1992.05.01
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