Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

이온 클러스터빔 증착장비의 개발

  • 고석근 (한국과학기술연구원) ;
  • 임종태 (한국과학기술연구원) ;
  • 정형진 (광전세라믹스연구실) ;
  • 조국산 ((주) 대륭진공 생산기술부) ;
  • 이병길 ((주) 대륭진공 생산기술부) ;
  • 이상용 ((주) 대륭진공 생산기술부)
  • Published : 1992.07.01
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Abstract

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