ECR 플라즈마를 이용한 액체질소온도에서의 ppoly-Si 및 Si 식각 연구

• 박철웅 (한국표준과학연구원 플라즈마연구실) ;
• 곽종구 (서울대학교 원자핵공학과) ;
• 박준교 (서울대학교 원자핵공학과) ;
• 조수원 (경기대학교 물리학과) ;
• 최은하 (광운대학교 물리학과) ;
• 노삼규 (한국표준과학연구원 플라즈마연구실) ;
• 김성규 (한국표준과학연구원 플라즈마연구실) ;
• 이충희 (한국표준과학연구원 플라즈마연구실)

• Published : 1992.07.01

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