Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Microstructure and Electrical ppropperties of LppCVD ppolysilicon

  • 이은구 (금성 일렉트론 8 연구실) ;
  • 노재성 (금성 일렉트론 8 연구실) ;
  • 정호영 (금성 일렉트론 8 연구실) ;
  • 라사균 (금성 일렉트론 8 연구실) ;
  • 김우식 (금성 일렉트론 8 연구실)
  • Published : 1992.02.01
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Abstract

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