Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

A Study on the Crystallization Behavior of LppCVD SI films by Low Tempperature Ammealing

: LppCVD 실리콘 박막의 저온 열처리에 따른 결정화 거동에 관한 연구

  • 김철수 (삼성반도체 LCD 사업부 D-pproject 2실) ;
  • 한정인 (삼성반도체 LCD 사업부 D-pproject 2실) ;
  • 김원근 (삼성반도체 LCD 사업부 D-pproject 2실) ;
  • 진용석 (삼성반도체 LCD 사업부 D-pproject 2실)
  • Published : 1992.02.01
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Abstract

Keywords