Proceedings of the Korean Magnestics Society Conference (한국자기학회:학술대회 개요집)
- 1991.11a
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- Pages.88-89
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- 1991
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- 2233-9485(pISSN)
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- 2233-9574(eISSN)
Compositional Change of Co-Early Transition Metals Thin Film in RF Magnetron Sputtering Using Composite Target Method
복합타게트법을 사용한 고주파 마그네트론 스퍼터링에서의 코발트-초기천이금속계박막의 조성 변화
Abstract
Keywords