Proceedings of the Korean Magnestics Society Conference (한국자기학회:학술대회 개요집)
- 1991.11a
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- Pages.86-87
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- 1991
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- 2233-9485(pISSN)
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- 2233-9574(eISSN)
Influence of Sputtering Condition on the Deposition Rate of Transition Metal Thin Film in RF Magnetron Sputtering
RF 마그네트론 스파터링에서 스파터링 조건이 천이금속 박막의 증착속도에 미치는 영향
Abstract
Keywords