• 공업화학
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• 제28권2호
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• pp.193-197
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• 2017

본 연구에서는 대형 직화구이 음식점으로부터 배출되는 유증기 및 미세먼지 제거를 위해 습식 플라즈마 전기집진 공정을 적용할 경우, 집진공정 후단에서 나오는 잔여 오존을 활용하여 제거되지 않은 아세트알데히드와 오존을 제거함으로써 복합악취를 저감할 수 있는 오존 산화 촉매 공정을 개발하였다. 망간산화물 기반 촉매는 분말 촉매 제조 후 압출하여 펠렛 형태로 성형하였으며, 성형촉매 상에서 아세트알데히드와 오존 모두 높은 제거율을 나타낼 수 있도록 최적 조건을 도출하고자 하였다. 제조한 $Mn_2O_3$와 $CuMnO_x$ 촉매는 각각의 성능을 평가하였으며, 이 두 가지 촉매를 2단으로 적용하였을 때 공간속도 $10,000h^{-1}$, 반응온도 $100^{\circ}C$인 조건에서 아세트알데히드는 85% 이상, 오존은 100% 저감시킬 수 있었다.

• Environmental Analysis Health and Toxicology
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• 제19권4호
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• pp.383-388
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• 2004

In order to elucidate the relationships between cadmium, copper, mercury, zinc levels and metallothionein in the liver and kidney cortex of Korean, the levels of Cd, Zn, Hg, Cu and metallothionein (MT) were determined in the kidney cortex and liver of 50 subjects deceased in the period of January-November, 2001 in the area of Seoul and Gyeonggi Province of Korea. The mean age of the population studied was 36.3+/-12.3 years. The tissues were digested with microwave digestion system and the elements were determined by inductively coupled plasma atomic emission spectrometry. MT was determined by the Cd-hemoglobin affinity assay. The determined levels (mean+/-SD) were: 33.9+/-18.9 micrograms Cd/g wet weight; 47.5+/-12.6 micrograms Zn/g wet weight; 2.5+/-0.57 microgram Cu/g wet weight; 0.26+/-0.31 micrograms Hg/g wet weight, 4.0+/-3.1 mg MT/g wet weight in renal cortex and 2.5+/-1.9 micrograms Cd/g wet weight; 46.9+/-15.0 micrograms Zn/g wet weight; 6.2+/-2.5 micrograms Cu/g wet weight; 0.10+/-0.15 micrograms Hg/g wet weight, 0.92+/-0.57 mg MT/g wet weight in the liver. Positive relationships between Cd and MT, sum of four divalent metal and MT in the kidney cortex were observed. No other correlation was found between Cu and MT, Hg and MT, Zn and MT in either organs.

• 한국진공학회지
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• 제7권1호
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• pp.72-76
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• 1998

본 연구에서는 방전내에서 활성화된 라디칼의 반응을 촉진시키는 플라즈마중합을 통하여 기능성 유기박막을 합성하기 위해 새로운 형태의 유동가스형 반응장치를 개발하였 다. 중합을 위해서 스티렌 모노머를 사용하였으며 분자구조와 분자량 분포에 대한 분석을 행하였다. 제작된 플라즈마중합막은 우수한 성능의 전자빔 레지스트로서 평가되었다. 새로운 플라즈마 반응장치를 이용하여 제작된 박막의 감도는 습식공정에 의해 제작된 레지스트의 감도에 비해서 향상되었으며 깨끗한 패턴이 성공적으로 제작되었다.

• Current Applied Physics
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• 제18권11호
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• pp.1436-1440
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• 2018

SiN and SiCN film production using plasma-enhanced atomic layer deposition (PE-ALD) is investigated in this study. A developed high-power and high-density multiple inductively coupled plasma (multi-ICP) source is used for a low temperature PE-ALD process. High plasma density and good uniformity are obtained by high power $N_2$ plasma discharge. Silicon nitride films are deposited on a 300-mm wafer using the PE-ALD method at low temperature. To analyze the quality of the SiN and SiCN films, the wet etch rate, refractive index, and growth rate of the thin films are measured. Experiments are performed by changing the applied power and the process temperature ($300-500^{\circ}C$).

• 멤브레인
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• 제11권1호
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• pp.38-49
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• 2001

우수한 열적, 화학적, 기계적 성질을 가진 폴리이미드 막의 표면을 Ar, $NH_3$ 플라즈마로 처리한 후 혼합기체$(CO_2/N_2=20/80 vol%)$의 투과 실험을 통하여 플라즈마 처리 조건이 기체 투과도와 분리성능에 어떠한 영향을 미치는지를 조사하였다. 투과실험은 $30^{\circ}$C, 5atm에서 variable volume method에 의해 행하여졌다. 표면개질된 폴리이미드 막의 투과거동에 대해 처리시간, 출력세기, 가스주입 유량 및 반응기 내의 압력과 같은 플라즈마 처리 조건의 영향을 조사하였다. 플라즈마 처리된 막의 표면은 FTIR-ATR, ESCA, AFM으로 분석하여 처리전후의 변화를 관찰하였다. 또한 플라즈마 처리시간에 따른 etching 효과와 흡수성은 weight loss와 contact angle를 측정하여 조사하였다. 그리고 투과 실험에 있어서 반응 온도의 변화에 따른 영향도 함께 연구되었으며, saturator를 이용한 dry 상태와 wet 상태에서 혼합가스에 대한 폴리이미드 막의 기체투과특성에 대한 실험 역시 수행되었다.

• 펄프종이기술
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• 제44권1호
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• pp.31-36
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• 2012

In the previous study, the possibility of modifying the surface properties of base paper with plasma treatment was evaluated. It was shown that only the hydrophilic properties of the base paper surface was increased while there was no changes in physical and optical properties. Only the surface of the plasma treated side was modified. In this study, the effect of plasma treatment on binder migration was elucidated. The base paper was plasma treated with various voltage and then the plasma treated base papers were coated with varying coated weight. The surface strength of the coated paper (dry and wet pick) was increased with plasma treatment, which implies that the plasma treatment of base paper can inhibit the binder migration.

• 한국해양환경ㆍ에너지학회지
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• 제15권4호
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• pp.281-291
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• 2012

MPUV와 Plasma를 사용하여 선박의 평형수를 처리하는 ARA Plasma BWTS가 개발되었으며, 이로부터 방류되는 배출수가 해양생태계 미치는 영향을 파악하기 위하여 Skeletonema costatum, Tigriopus japonicus 및 Paralichthys olivaceus를 이용하여 배출수독성시험과 생성된 화학물질에 대한 환경위해성을 평가하였다. 34 psu 배출수는 P. olivaceus에 대하여 미약한 만성 독성영향을 보였다($7d-LC_{50}{\Rightarrow}100.00%$ 배출수, $7d-LC_{25}{\Rightarrow}85.15%$ 배출수). 34 psu 배출수에서 Bromobenzene, chlorobenzene과 4-chlorotoluene이 해수의 배경농도보다 높게 검출되었다. MAMPEC을 이용한 Bromobenzene, chlorobenzene과 4-chlorotoluene의 PEC 산출결과는 각각 3.34E-03, 2.10E-03 및 1.73E-03 ${\mu}g\;L^{-1}$이었고, PNEC는 1.6, 0.5 및 1.9 ${\mu}g\;L^{-1}$였다. 세 화학물질의 PEC/PNEC 비율은 1을 초과하지 않았고, PBT 특성을 보이지 않았다. 따라서 WET test 결과와 환경위해성평가결과는 ARA Plasma BWTS에 의하여 처리된 해수가 해양생태계에 수용 불가한 영향을 미치지 않을 것임을 시사하였다.

• 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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• 한국정보디스플레이학회 2005년도 International Meeting on Information Displayvol.II
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• pp.1273-1275
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• 2005

The influence of oxygen plasma and octadecyltrichlorosilane (OTS) treatment of $SiO_2$ on the patterning of poly(3,4-ethylenedioxythiophene)/poly(4-styrenesulfonate) (PEDOT:PSS) is presented. A significant difference in surface energies between plasma treated and OTS treated $SiO_2$ was noted. Such heterogeneous surface energy guides PEDOT:PSS to wet and spread on the wettable region and to dewet and retract from other regions.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2013년도 제44회 동계 정기학술대회 초록집
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• pp.491-491
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• 2013

A novel plasma system has been developed for 3-dimensional modification of the carbon nano-powders. Improvement of dispersion of these nano materials are studied by plasma discharge, not using chemical modification. The plasma process is considered to great advantages over wet chemical process due to environmental, economic viewpoint, and uniformity over the treated volume. The uniform dispersion is a critical factor for these material's nano composite applications. Using this plasma system, graphene, carbon black, and CNT was treated and functionalized. Several key discharge conditions such as Ar/H2/O2 or Ar/H2/NH3 gas ratio, treatment time, power, feeder's vibration frequency are investigated. Hydrophobic of graphene has turned some more into hydrophilic by reaction test with water, electrophoresis, surface contact angle test, and turbidity analysis. The oxygen content ratio in the plasma treated CNT has increased about 3.7 times than the untreatedone. In the case of graphene and carbon black, the oxygen- and nitrogen- content has been enhanced average 10%. O-H (N-H) peak, C-O (C-N) peak, and C=O (C=N) peak data have been detected by FTIR measurement and intensified compared to before-plasma treatment due to O2 or NH3 content.

• 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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• 한국정보디스플레이학회 2004년도 Asia Display / IMID 04
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• pp.555-557
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• 2004

We report the effect of the particle size (D50) and PSD (Particle Size Distribution) of glass frit on the transparency of transparent dielectric layer of PDP. The milling efficiency of wet milling with water was the best among the dry milling, wet milling with IPA and wet milling with water. The transparency increased with the reduction of particle size of glass frit as the milling time increased. Also the transparency changed by the PSD of glass frit. Glass frits of broad PSD showed high transparency compared with the glass frits of sharp PSD.