• 제목/요약/키워드: wet etch

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Batch-Type 원자층 증착 방법으로 형성한 실리콘 질화막의 특성 (The characteristics of silicon nitride thin films prepared by atomic layer deposition with batch type reactor)

  • 김혁;이주현;한창희;김운중;이연승;이원준;나사균
    • 한국진공학회지
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    • 제12권4호
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    • pp.263-268
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    • 2003
  • 차세대 반도체 및 디스플레이 소자에 적용되는 실리콘 질화막은 정확한 두께 제어와 우수한 물성을 필요로 한다. 본 연구에서는 우수한 특성의 실리콘 질화막을 형성하기 위해 Si 원료물질로 $SiC1_4$, N 원료물질로 $NH_3$을 사용하고 $500^{\circ}C$에서 $600^{\circ}C$ 온도구간에서 batch-type 장비를 이용하여 원자층 증착 방법으로 박막을 형성하고 증착된 박막의 특성을 살펴보았다. Batch-type 장비를 사용한 박막의 증착은 표면반응에 의한 균일한 원자층 증착임을 확인하였으며, 증착 cycle의 횟수를 조절하여 원하는 두께의 박막을 형성할 수 있었다. 원자층 증착된 박막의 조성, 굴절률 및 습식각 속도를 기존의 저압화학증착 방법에 의해 증착된 박막과 비교한 결과, 원자층 증착 방법을 사용하여 기존의 방법보다 증착온도를 $250^{\circ}C$ 이상 낮추면서도 유사한 물성을 가진 박막을 형성할 수 있음을 확인하였다. Pyridine을 촉매로 첨가하여 원자층 증착한 박막의 경우에는 증착속도를 50% 가량 향상시킬 수 있었으나 박막의 구조가 불안정하여 쉽게 산화되므로 반도체나 디스플레이 소자 제조에 적용하기에는 부적절한 것으로 판단된다.

지혈제 오염이 콤포머의 전단결합강도에 미치는 영향 (THE EFFECTS OF SURFACE CONTAMINATION BY HEMOSTATIC AGENTS ON THE SHEAR BOND STRENGTH OF COMPOMER)

  • 허정무;곽주석;이황;이수종;임미경
    • Restorative Dentistry and Endodontics
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    • 제27권2호
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    • pp.150-157
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    • 2002
  • One of the latest concepts in bonding are "total etch", in which both enamel and dentin are etched with an acid to remove the smear layers, and "wet dentin" in which the dentin is not dry but left moist before application of the bonding primer Ideally the application of a bonding agent to tooth structure should be insensitive to minor contamination from oral fluids. Clinically, contaminations such as saliva, gingival fluid, blood and handpiece lubricant are often encountered by dentists during cavity preparation. The aim of this study was to evaluate the effect of contamination by hemostatic agents on shear bond strength of compomer restorations. One hundred and ten extracted human maxillary and mandibular molar teeth were collected. The teeth were removed soft tissue remnant and debris and stored in physiologic solution until they were used. Small flat area on dentin of the buccal surface were wet ground serially with 400, 800 and 1200 abrasive papers on automatic polishing machine. The teeth were randomly divided into 11 groups. Each group was conditioned as follows : Group 1: Dentin surface was not etched and not contaminated by hemostatic agents. Group 2: Dentin surface was not etched but was contaminated by Astringedent$^{\circledR}$(Ultradent product Inc., Utah, U.S.A.) Group 3: Dentin surface was not etched but was contaminated by Bosmin$^{\circledR}$(Jeil Pharm, Korea.). Group 4: Dentin surface was not etched but was contaminated by Epri-dent$^{\circledR}$(Epr Industries, NJ, U.S.A.). Group 5: Dentin surface was etched and not contaminated by hemostatic agents. Group 6: Dentin sorface was etched and contaminated by Astringedent$^{\circledR}$. Group 7 : Dentin surface was etched and contaminated by Bosmin$^{\circledR}$. Group 8: Dentin surface was etched and contaminated by Epri-dent$^{\circledR}$. Group 9: Dentin surface was contaminated by Astringedent$^{\circledR}$. The contaminated surface was rinsed by water and dried by compressed air. Group 10: Dentin surface was contaminated by Bosmin$^{\circledR}$. The contaminated surface was rinsed by water and dried by compressed air. Group 11 : Dentin surface was contaminated by Epri-dent$^{\circledR}$. The contaminated surface was rinsed by water and dried by compressed air. After surface conditioning, F2000$^{\circledR}$ was applicated on the conditoned dentin surface The teeth were thermocycled in distilled water at 5$^{\circ}C$ and 55$^{\circ}C$ for 1,000 cycles. The samples were placed on the binder with the bonded compomer-dentin interface parallel to the knife-edge shearing rod of the Universal Testing Machine(Zwick Z020, Zwick Co., Germany) running at a cross head speed or 1.0 mm/min. Group 2 showed significant decrease in shear bond strength compared with group 1 and group 6 showed significant decrease in shear bond strength compared with group 5. There were no significant differences in shear bond strength between group 5 and group 9, 10 and 11.

부가적인 산부식이 자가산부식 접착제의 법랑질에 대한 전단결합강도에 미치는 영향 (Influence of additional etching on shear bond strength of self-etching adhesive system to enamel)

  • 유선진;김영경;박정원;진명욱;김성교
    • Restorative Dentistry and Endodontics
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    • 제31권4호
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    • pp.263-268
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    • 2006
  • 최근 많이 소개되고 있는 자가산부식 접착제는 상아질에 대한 접착은 우수한 것으로 알려져 있지만 법랑질에 대한 접착은 인산에 비해 낮은 산도로 인해 충분한 부식이 일어나는지에 대한 논란이 되고 있다. 본 연구에서는 서로 다른 산도를 가진 1 단계 혹은 2 단계의 자가산부식 접착제에서 부가적인 산부식이 법랑질과 복합 레진 사이의 전단결합강도에 미치는 영향을 평가하고자 하였다. 90 개의 발거된 우치의 순면을 물기가 있는 상태에서 #600 사포로 표면을 연마하여 평활한 법랑질을 노출시킨 후, 임의로 6군으로 분류했다. 사용재료는 Clearfil SE $Bond^{\circledR},\;Adper^{TM}$ Prompt L-Pop, 그리고 Tyrian $SPE^{TM}$를 사용하였으며, 각 재료에 추가적인 산부식을 시행한 군과 그렇지 않은 군으로 나누어 표면 처리한 후, 제조사의 지시대로 접착과정을 시행하였다 . 각 시편에 복합레진을 2 mm 두께로 충전하고, 40 초간 광중합을 하였다. 그 후 시편을 $37^{\circ}C$, 100% 상대습도에서 24시간 보관 후 전단응력 접착강도를 측정하였다. 결과치는 independent t - test를 이용하여 통계분석 하였으며 그 결과는 다음과 같이 나타났다. Clearfil SE $Bond^{\circledR}$에서 부가적인 산부식을 시행한 군이 그렇지 않은 군보다 유의하게 높은 접착강도를 나타내었다 (p < 0.01). $Adper^{TM}$ Prompt L-Pop과 Tyrian $SPE^{TM}$에서는 부가적인 산부식이 결합강도에 통계적인 유의차를 나타내지 않았다 (p > 0.01). 본 연구의 결과로 보아, 강산을 함유하고 있는 접착제를 사용할 경우에는 부가적인 부식 처치가 접착력을 증가시키지 않으나, 약산을 함유하고 있는 접착제의 경우에는 부가적인 산부식이 접착력을 증진시키는 것으로 사료된다.