Proceedings of the Korean Institute of Intelligent Systems Conference
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2004.10a
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pp.67-70
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2004
Semiconductor Wet Station has a very important place in semiconductor process. It is important that to discharge chemical with fit concentration and temperature using chemical supply system for clean process. The chemical supply system which is used currently is not only difficult to make a fit mixing rate of chemical which is need in clean' process, but also difficult to make fit concentration and temperature. Moreover, it has high stability but it is inefficient spatially because its volume is great. We propose In-line System to improve system with implement analysis of fluid and thermal transfer on chemical supply system and understand problem of system.
Kim Jong Won;Hong Kwagn Jin;Cho Hyun Chan;Kim Kwang Sun;Kim Doo Yong;Cho Jung Keun
Journal of the Semiconductor & Display Technology
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v.4
no.3
s.12
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pp.29-33
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2005
As the integrated devices become more and more sophistcated, the diameter of wafers increased up to 300 mm and strict level of cleaning is necessary to remove the particulates on the surface of wafer. Therefore we need a new type of wet-station which can reduce DI water and chemical in the cleaning process. Moreover, it is important to control the temperature and the concentration of chemical in the wet-station. In the conventional chemical supply system, it is difficult not only to fit the mixing rate of chemicals in cleaning process, but also to fit the quantity and temperature. Thus, we propose a new chemicals supply system, which overcomes above problems by the analysis of fluid and thermal transfer on chemical supply system.
The treatment of a model wastewater containing quinoline in an integrated wet oxidation-aerobic biological treatment was investigated. Partial wet oxidation under mild operating conditions was capable of converting the original quinoline to biodegradable organic acids such as nicotinic, formic and acetic acid, the solution of which was subjected to the subsequent aerobic biological treatment. The wet oxidation was carried out at 250$^{\circ}C$ and the initial pH of 7.0, and led to effluents of which nicotinic acid was oxidized through 6-hydroxynicotinic acid by a Bacillus species in the subsequent aerobic biological treatment. Either homogeneous catalyst of $CuSO_4$ or phenol, which is more degradable in the wet oxidation compared to quinoline, was also used for increasing the oxidation rate in the wet oxidation of quinoline at 200$^{\circ}C$. The oxidation of quinoline in the catalytic wet oxidation and the wet co-oxidation with phenol resulted in effluents of which nicotinic acid was biodegradable earlier in the aerobic biological treatment compared to those out of the non-catalytic wet oxidation at 250$^{\circ}C$. However, the lag phase in the biodegradation of nicotinic acid formed out of the wet oxidation at 250$^{\circ}C$ was considerably shortened after the adaptation of Bacillus species used in the aerobic biological treatment with the effluents of the quinoline wet oxidation.
Journal of the Korean institute of surface engineering
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v.50
no.6
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pp.523-530
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2017
In this study, we developed the h-BN interphase for ceramic matrix composites (CMCs) through a wet chemical coating method, which has excellent price competitiveness and is a simple process as a departure from the existing high cost chemical vapor deposition method. The optimum condition for nitriding an h-BN interphase using boric acid and urea as precursors were derived, and the h-BN interphase coating through a wet method on a carbon preform of 2.5 D was conducted to apply the optimum conditions to the CMCs. In order to control the coating property via the wet coating method, four parameters were investigated such as dipping time of the specimen in the precursor solution, the ratio of boric acid and urea in the precursor, the concentration of solution where the precursor was dissolved, and the cycle of dipping and dry process. The CMCs was fabricated through polymer impregnation and pyrolysis (PIP) processes and a three-point flexural strength test was conducted to verify the role of the coated h-BN interphase.
Park, Sung-Bin;Park, Chang-Kyoo;Hwang, Jin-Tae;Cho, Won-Il;Jang, Ho
Bulletin of the Korean Chemical Society
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v.32
no.2
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pp.536-540
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2011
This study reports the origin of the electrochemical improvement of $LiFePO_4$ when synthesized by wet milling using acetone without conventional carbon coating. The wet milled $LiFePO_4$ delivers 149 $mAhg^{-1}$ at 0.1 C, which is comparable to carbon coated $LiFePO_4$ and approximately 74% higher than that of dry milled $LiFePO_4$, suggesting that the wet milling process can increase the capacity in addition to conventional carbon coating methods. UV spectroscopy, elemental microanalysis, and evolved gas analysis are used to find the root cause of the capacity improvement during the mechanochemical reaction in acetone. The analytical results show that the improvement is attributed to the conductive residual carbon on the surface of the wet milled $LiFePO_4$ particles, which is produced by the reaction of $FeC_2O_4{\cdot}2H_2O$ with acetone during wet milling through oxygen deficiency in the precursor.
This study presents the results of an overall effort to detemine the applicability of the chemical wet process informing lead titanate electronic ceramics. Although pure lead titanate has not proven to be an important technological materials when prepared via conventional processing procedures this work is interesting as a study of chemical wet processing and a way of preparing pbTiO3 for study. The result obtained from this experiment were as follows ; Optimum synthesis condition which synthesize PbTiO3 by chemical wet process was obtained by firing at 50$0^{\circ}C$ after mixing $Pb(OH)_2$- gel and $Ti(OH)_4$ -gel at 7$0^{\circ}C$ for 4 hours.
The purpose of this study is to estimate wet deposition flux and to investigate wet deposition characteristics by using the ADOM model. Wet deposition flux of highly reactive $SO_2$ is estimated by applying observed meteorological parameters and concentrations of chemical species to the ADOM model. Wet deposition is largely dependent on large scale precipitation and cloud thickness. Wet deposition flux of sulfate depends on $SO_2$ oxidation in clouds. When large amount of $SO_2$ is converted to sulfate, deposition flux of sulfate increases, but wet deposition flux of $SO_2$ is small. On the whole, the pattern of sulfate wet deposition flux agrees with the typical pattern of sulfate wet deposition that is high in the summer(July) and low in the winter(January).
A facile one-pot wet chemical process to prepare pure anatase TiO2 hollow structures using ammonium hexafluorotitanate as a precursor is developed. By defining the formic acid ratio, we fabricate TiO2 hollow structures containing fluorine on the surface. The TiO2 hollow sphere is composed of an anatase phase containing fluorine by various analytical techniques. A possible formation mechanism for the obtained hollow samples by self-transformation and Ostwald ripening is proposed. The TiO2 hollow structures containing fluorine exhibits 1.2 - 2.7 times higher performance than their counterparts in photocatalytic activity. The enhanced photocatalytic activity of the TiO2 hollow structures is attributed to the combined effects of high crystallinity, specific surface area (62 ㎡g-1), and the advantage of surface fluorine ions (at 8%) having strong electron-withdrawing ability of the surface ≡ Ti-F groups reduces the recombination of photogenerated electrons and holes.
Proceedings of the Korea Technical Association of the Pulp and Paper Industry Conference
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2008.05a
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pp.87-122
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2008
In order to manage the papermaking procedure in an effective way, it is inevitably required to measure and estimate the various changing parameters of wet-end process control. This content is devoted to the explanation of lab scale new investigating method regarding wet-end process of paper machine by using RDA.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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