• Title/Summary/Keyword: vacuum pump

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파워스티어링 펌프의 자동 성능 시험기 개발에 관한 연구 (A Study on the Development of the Automatic Performance­Test­machine for Power Steering Pump)

  • 정재연;정석훈
    • Tribology and Lubricants
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    • 제19권6호
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    • pp.335-341
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    • 2003
  • Recently, the automotive industry is being developed rapidly. On this, a demand of high quality performance­test­machine is increased too. But it is progressive technology that must be combined hydraulic, mechanic and electronic technologies. To construct this system, the design of oil hydraulic circuit, interface skill between sensor and personal computer, data acquisition & display system and integrated control are very important skill. Moreover, reliable data is obtained with vacuum system and complex heat exchange system. Therefore, in this study, we designed a performance­test­machine by using above key technologies and we also made a integrated PC control system using personal computer which is more progressive and flexible method than PLC control.

미세 다공 박판제품 생산성 향상을 위한 진공 시스템의 개선 (Development of Vacuum System for Improving Productivity of Fine Multi-hole Sheet Metal Product)

  • 박준홍;권택환;최영;김철;최재찬
    • 한국정밀공학회지
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    • 제17권8호
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    • pp.180-188
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    • 2000
  • Fine multi-hole sheet metal product(FMSMP) is a specific metal plate which is used in color TV and computer monitor. Processes of manufacturing FMSMP are generally composed of coating cleaning exposure and etching processes. After a thin metal plate is made by rolling photosensitive liquid is coated on the metal plate in coating process. Then the coated thin metal plate consecutively passes through exposure process in which upper and lower glasses are compressed by vacuuming the space between glasses and metal plate. In this lowered glasses are compressed by vacuuming the space between glasses and metal plate. In this lowered vacuum state certain part of metal plate is desirably exposed to light and will be etched into forming lots of well-arranged holes with a specific diameter, nowadays to manufacture FMSMP of 17 inch braun tube 80 second is required for complete vacuum but 35 second is applied to manufacture FMSMP in reality. In the present study vacuuming time is tried to reduce for improvement of productivity by analyzing vacuum system and proposing several solutions, for faster vacuuming speed degree of vacuum state between glasses and metal plate is improved by the proposed method and experiments using the proposed method are performed for verification. In addition microstructure of FMSMP is investigated to prevent stain phenomena and to improve quality of the product.

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부항요법(附缸療法)의 압력특성에 관한 실험적 연구 (Experimental Study on the Pressure Characteristics in the Cupping Therapy)

  • 김양중;김도호;염승철;임병철;최연성;이건휘;김형수;이재규;이건목
    • Journal of Acupuncture Research
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    • 제25권1호
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    • pp.121-130
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    • 2008
  • Objectives : Cupping therapy is a stimulation therapy similar to acupuncture and moxibustion with effects that differ depending on the degree of stimulus. To make the strength of the skin objective in cupping therapy for this study, we measured negative pressure in the cupping jar and calculated the expansion rate of the skin. Subjects and Methods : In this study, we experimented with cupping therapy jars made for sale and used in clinics. We studied the pressure in the jars and the changes on the skin surface by measuring properties. We used commercial jars of four different volumes and diameters and tried to discover the properties on the size of the jar. Results : The results of experiment with the cupping therapy are as follows: 1. The lowest pressure in a jar was measured at $-600{\sim}610mmHg$, and the number of operating of vacuum pump for reaching lowest pressure was increased recording where the volume of the jar would be big, but the lowest pressure was not increased recording where the size of that would be big. 2. As the vacuum pump continued to operate, the pressure gradient in the jar got smaller which shows that the expansion rate of the skin was not linear. The pressure gradient shows different operational numbers on the vacuum pump near 0mmHg/operation unrelated to jar volume. 3. When negative pressure worked on the jar, air in the jar decreased. The percentage of air gradually reduced as the negative pressure acted in the jar. For example, the percentage of skin was 37-66% when the negative pressure, reatched -500mmHg. According to out results, different test areas generate different percentages of air in the jar, presumably related to skin elasticity. This phenomenon was most pronounced with the smallest jars. 4. At -500mmHg, the expansion rate of the skin was 1.57-1.9 on the abdomen, and $1.52{\sim}1.68$ on the back. The expansion rate of the skin appeared greater when the jar was relatively small, and it appeared smaller when the jar volume was relatively large relatively.

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크라이오 펌프를 이용한 스테인레스 스틸 고진공용기 배기에서 2차 냉각판 온도와 용기 내부의 기체 부분압 관계 (The relations between second-stage temperatures and gases partial pressures at the stainless steel high vacuum chamber by cryogenic pumping)

  • 홍승수;임종연;신용현;정광화
    • 한국진공학회지
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    • 제13권4호
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    • pp.139-144
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    • 2004
  • 최근에는 진공공정에서 용기내의 청정도와 잔류기체의 부분압에 대한 관심이 높아지고 있다. 본 연구에서는 청정진공 발생에 많이 사용되고 있는 크라이오 펌프의 냉각판 온도에 따른 $H_2$, He, C, N, $O_2$, $H_2O$, Ar/2, $N_2$(CO), Ar, $CO_2$의 부분압을 잔류기체분석기로 측정하여 비교하였다. 크라이오 펌프를 켜고 약 72분이 지났을 때 펌프의 냉각판 온도가 12K에 도달하였으며, 25시간이 경과하여 온도가 충분하게 낮아졌을 때 부분압은 $H_2$, He, C, N, $O_2$, $H_2O$, Ar/2, $N_2$, Ar, $CO_2$순으로 24.9%, 6.6%, 5.5%, 2.2%, 3.8%, 30.7%, 6.5%, 6.1%, 5.5 %, 8.2%로 $H_2$$H_2O $압력이 상대적으로 높은 것을 알 수 있었다.

양산에 적합한 구조의 X-ray 검출기 공정에 대한 연구

  • 권준환;오경민;송용근;김지나;노성진;남상희
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2012년도 제43회 하계 정기 학술대회 초록집
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    • pp.265-266
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    • 2012
  • 의료용 X-ray의 발전에 따라, 영상의 Digital화가 필요하게 되었다. Digital 영상 구현을 위해 다양한 형태의 영상 검출기가 개발되었다. 진단 영상의 조건으로는 구현 시간이 빠르고 해상도가 높아야 한다. 조건에 부합하는 Flat panel 형태의 직접방식과 간접방식 검출기의 개발이 주로 이루어졌으며, X-ray 검출 효율이 높고 공간 분해능이 높은 직접 방식의 검출기에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 기존 직접방식의 X-ray 검출물질로는 A-Se이 이용되었다. 하지만 A-Se의 경우 낮은 원자번호로 인해 X-ray에 대한효율이 낮으며, 제조 공정과 수율의 문제로 인해 대체 물질의 개발과 공정의 개선이 필요하다. 선행 연구를 통해 X-ray 검출물질의 전기적 특성을 파악을 통해 대체 물질로서 가능성을 알아보았다. 본 연구에서는 기존에 제작된 X-ray 검출물질의 상부전극 증착 물질과 증착법 선정에 대한 연구이다. 선행 연구를 통해 선정된 X-ray 검출물질은 HgI2이다. 상, 하부 전극 선택에 있어 HgI2의 일함수 값(4.15eV)을 고려하여 그와 비슷한 일함수 값을 가진 물질로 전기적 장벽을 제거하여야 한다. 따라서, ITO (일함수 4.45eV)와 Au (일함수 5.1eV)을 선택하였다. ITO의 증착으로 이용된 방법으로는 on-axis 형태의 magnetron plasma sputtering을 이용하였으며, Au의 증착으로 이용된 방법은 Thermal evaporation deposition을 이용하였다. plasma sputtering에 이용된 타겟은 In2O3;SnO2 (조성비:90:10wt%)를 사용하였으며, Chamber의 크기는 넓이 456 ${\phi}cm^2$ 높이 25 cm이며, 로 target과 기판과의 거리는 15cm이다. plasma발생에 필요한 가스로는 Ar과 O2를 이용하였다. 고 진공 환경 조성에 이용된 장비로는 Rotary pump와 Turbo molecular pump이다. plasma 발생 전 진공도는 $3.2{\times}10^{-5}$ Torr, 발생 후 진공도는 $5.1{\times}10^{-5}$ Torr이다. plasma 환경이 조성된 후 증착 시간은 1분 30초이다. Au는 순도 99.999%를 이용하였으며, 이용된 금은 1회 증착에 0.3 g을 이용하였다. Chamber의 넓이 1,444 ${\phi}cm^2$이며, 높이 40 cm, boat와 기판과의 거리는 25 cm이다. 고 진공 환경 조성에 이용된 장비로는 Rotary pump와 diffusion pump를 이용하였다. Au의 승화 전 진공도는 $2.4{\times}10^{-5}$ Torr 증착 시 진공도는 $4.2{\times}10^{-5}$ Torr이며, Boat에 가해준 전압, 전류는 0.97 V, 47 A이며, 증착 시간은 1분 30초이다. 광도전체 층에 각각 증착된 전극의 저항을 통해 증착상태를 판단하였다. DMM (Digital Multimeter)로 1 cm 간격으로 측정된 표면의 저항은 ITO 약 $8{\Omega}$, Au 약 $3{\Omega}$으로 전극으로서 이용이 가능한 상태이다. Au와 ITO가 증착된 HgI2 시편의 전기적 특성은 기존에 이용된 X-ray 변환물질의 성능보다 우수하였다. 하지만 Au와 ITO가 각각 증착된 시편의 전기적 특성은 큰 차이를 보이지 않았다. ITO의 경우 진공 상태에서 이용되는 Gas가 이용되며, Plasma 환경 조성 유지가 어려운 점이 있다. Au전극은 증착 환경 조성이 쉽지만, 전극 물질 이용효율이 떨어지는 단점이 있다. 본 연구를 통해 X-ray 변환물질인 HgI2의 전극물질로 Au와 ITO의 이용가능성을 알아보았다. 두 전극으로 제작된 검출기의 성능은 큰 차이 없이 우수하였고, 전기적 장벽 상태가 낮아 높은 검출 효율을 보였다. 상대적으로 Au 전극의 공정이 간단하고 수율이 높다. 하지만 Au Source의 이용 효율이 떨어지는 단점이 있다. 본 연구의 결과를 통해 공정상의 유리함과 Source의 이용효율을 고려한 분석에 대한 연구가 필요할 것으로 사료된다.

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Synthesis of CdSe Multi-shell Structured Nanocrystal Quantum Dot through the Continuous Flow Reactor

  • Kim, Kyung-Nam;No, Jae-Hong;Jeong, So-Hee
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2012년도 제43회 하계 정기 학술대회 초록집
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    • pp.417-417
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    • 2012
  • For desired optical properties of QDs, it is very important to reduce the presence of defects on their surfaces. Passivation of surface defects using larger band gap materials is the most effective way. Some groups successfully synthesized Cd based multi-shell structured quantum dots and improved its optical properties. However, its productivity has limit because of the amounts of glass ware and space. In this research, we try to synthesize Cd based multi-shell structured nanocrystal quantum dots to overcome demerits of conventional batch synthetic method. This reactor composed pump, SUS reaction part (3.2 mm stainless steel and furnace) and batch mixer. We successively synthesized CdSe/CdS/ZnS quantum dot at this reactor in one step.

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Turbomolecular Pump 내 Rotor-Stator의 형상 변화에 따른 유동의 수치적 해석

  • 김인찬
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2012년도 제43회 하계 정기 학술대회 초록집
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    • pp.98-98
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    • 2012
  • 최고진공도 10-10 mbar, 배기속도 2500 L/s를 구현할 대용량 복합 분자펌프(TMP) 설계를 위한 3차원 유동해석을 실시하였다. 진공도가 10-5 mbar 이상이 되는 고진공도에서는 Knudsen 수가 102~107에 이르러 분자간 충돌을 거의 무시할 수 있게 되며, 이때의 유체해석 방법으로서는 통상 희박기체 해석법으로 많이 쓰이는 Direct Simulation Monte Carlo (DSMC) 방법이나 Continuum fluid에 대한 Navier-Stokes 해석보다, 충돌이 없는 분자의 자유운동을 모사하는 Monte Carlo 방법이 더 적합할 수 있다. 본 연구에서는 다단계 rotor와 stator로 구성되는 복합분자 내 유동장에 Monte Carlo 해석법을 적용하여 유동해석을 실시하였다. 해석 방법의 타당성을 확인하기 위해 동일한 형상에 대해 Navier-Stokes 해석과 DSMC 해석을 병행하였다. 각각의 수치적 해석에서 공통적으로, TMP의 성능에 지배적인 영향을 미치는 설계변수는 rotor-stator의 날개각임이 확인되었고, 이 설계변수들의 최적값을 다양한 3차원 유동해석을 통해 도출하였다. 해석결과는 펌프설계에 적용되어 펌프 성능시험결과를 통해 확증된다.

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Technique for Soil Solution Sampling Using Porous Ceramic Cups

  • Chung, Jong-Bae
    • Applied Biological Chemistry
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    • 제41권8호
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    • pp.583-586
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    • 1998
  • Porous ceramic cups are used for monitoring ion concentration in soil solutions in various time course and depth. A soil solution sampler was constructed in laboratory by inserting pliable perfluoroalkoxy(PFA) tubings into porous cup through holes in PVC rod segment which plugged top opening of the porous cup. The system was installed in drip irrigated soil in a vertical position, and nitrogen movement below the drip basin was monitored. To collect soil solution, vacuum in the cup was applied with a hand vacuum pump. The samples obtained were sufficient enough to run quantitative analyses for a number of chemicals. Nitrogen transformation and movement could be well defined, and the system seemed to be relevant to the other soil solution samplers in monitoring chemical movement in soil. Although this system has general deficiencies found in the other samplers using ceramic cup, it could be easily constructed at a low cost. Since the tubing was pliable, the cups could be installed in horizontal position, and this allows installations of the cups at more precise depth increments and also more precise samplings of soil solution at each depth.

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진공 / 플라즈마 실험 카트 설계 (Vacuum / Plasma Lab Cart Design)

  • 강충현;강대현;주정훈
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2016년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.187-187
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    • 2016
  • 진공 압력에 따른 플라즈마 발생의 관계, 전압에 따른 방전 밝기, gas와 방전 전극에 따른 플라즈마 색의 변화 등 실험을 통하여 학부생들에게 진공 시스템과 플라즈마의 이해도를 높이기 위해 Geissler tube cart를 제작하였다. Pump는 TMP station (PFEIFFER Vacuum Hi Cube ECO 80)을 사용하였으며 reducer를 이용하여 CF-4.5"에서 CF-2.75" adaptor를 설치, gate valve를 연결하여 진공도를 조절 할 수 있게 하였으며, 5-way를 이용하여 왼쪽은 gas line, 정면 view port, 상단 geissler tube, 후면 compact full range gauge를 설치하였고, cart 제작 결과를 Fig. 1에 나타내었다. Geissler tube의 수치모델은 Fig. 2에 나타내었다. 저진공(<10-3 Torr) 영역부터 고진공(<10-4 Torr) 영역까지 진공도에 따른 방전을 관찰 할 수 있으며, 표면과 플라즈마 사이의 전위 변화에 따른 쉬스(sheath) 관찰, trans 와 slidacs를 이용하여 전압 조정이 가능하기 때문에 전압에 따른 방전 관찰과 gas line을 통한 gas 주입에 따른 색의 변화를 관찰이 가능하도록 설계하였다.

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임의의 공정 변화에 따른 진공펌프의 소음${\cdot}$진동 평가를 위한 MFC 컨트롤 시스템 개발 (Development of The MFC Control System for Evaluating Noise and Vibration of Vacuum Pump According to Arbitrary Process Change)

  • 류제담;정완섭;임종연;홍동표
    • 한국음향학회:학술대회논문집
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    • 한국음향학회 2004년도 추계학술발표대회논문집 제23권 2호
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    • pp.313-316
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    • 2004
  • 진공펌프의 상태를 미리 알고 대처하는 것은 수많은 진공펌프를 사용하는 반도체 회사에게는 경제적인 이익을 준다. 진공펌프의 상태를 파악하기 위해서는 실제 공정에서 많은 실험을 해야만 한다. 하지만 실제 공정에서 실험을 하기에는 많은 제약과 문제점들이 따른다. 이를 해결하기 위해 본 연구는 MFC(Mass Flow Controller)를 이용하여 실제 공정과 유사한 압력조건을 생성할 수 있는 시뮬레이션 시스템을 구축하였다.

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