• 한국진공학회지
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• 제14권3호
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• pp.110-114
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• 2005

본 연구는 화학증착(Chemical Vapor Deposition, CVD) 시스템에서 전구체 소모량을 모니터링 하기 위한 방법이다. 전구체는 가격이 매우 비싸기 때문에 이를 모니터링 하기 위한 효과적인 방법이 요구된다. 하나의 예로서 용기내 수위진단을 할 수 있는 초음파 센서를 들 수 있는데 이는 비접촉식이고 가격이 저렴한 유리한 점이있다 본 연구에서는, CVD 시스템에서의 전구체 소모량 모니터링을 위한 초음파 진단기술 개발에 관해 연구한다. 또한 반도체 생산라인에 적용이 가능한 실제 진단장치를 개발, 적용한다.

• 한국입자에어로졸학회지
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• 제6권3호
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• pp.139-145
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• 2010

In this study, we investigated the particle formation during the deposition of borophosphosilicate glass (BPSG) and phosphosilicate glass (PSG) films in thermal chemical vapor deposition reactor using in-situ particle monitor (ISPM) and particle beam mass spectrometer (PBMS) which installed in the reactor exhaust line. The particle current and number count are monitored at set-up, stabilize, deposition, purge and pumping process step in real-time. The particle number distribution at stabilize step was measured using PBMS and compared with SEM image data. The PBMS and SEM analysis data shows the 110 nm and 80 nm of mode diameter for BPSG and PSG process, respectively.

• 한국진공학회지
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• 제9권4호
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• pp.400-405
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• 2000

유기금속 소스의 농도를 연속적으로 in-situ 측정이 가능한 EPISON ultrasonic monitor를 이용하여 TMIn(trimethly-indium)의 소스 고갈이 InGaAs, InGaAsP bulk 에피층과 1.55 $mu extrm{m}$ InGaAs/InGaAsP SMQW (strained multi-quantum well)에 미치는 영향을 조사하였다. TMIn 소스는 사용량이 80%에서 급격하게 소스 고갈 현상을 보였다. TMIn 소스는 사용량이 80%에서 급격하게 소스 고갈 현상을 보였다. TMIn 소스 고갈에 의한 에피층의 특성 변화를 조사한 결과, bulk 에피층의 경우에는 소스가 고갈 되기 전에 성장한 에피층과 비교하여 DCXRD(double crystal X-ray diffractometry) spectrum에서 피크 분리가 약 300 arcsec정도 Ga-rich 방향으로 이동하였으며 relative FWHM은 약 2배 가량 증가하는 것을 보였다. SMQW 구조에서는 bulk 에피층과는 달리, PL 중심파장에서도 약 40 nm 정도 단파장쪽으로 이동하였으며, 피크 분리는 약 300 arcsec정도 Ga-rich 방향으로 이동하였다. 하지만, EPISON의 closed loop 기능을 사용할 경우에는 TMIn 소스 사용량이 95%에서도 피크 분리가 $\pm$100 arcsec이내의 재현성 있는 에피층 성장이 가능하다는 것을 알 수 있었다.

• 한국진공학회지
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• 제20권2호
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• pp.86-92
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• 2011

본 연구에서는 새롭게 개발된 센서인 in-situ particle monitor (ISPM)와 기존센서의 기능을 업그레이드 한 센서인 self-plasma optical emission spectroscopy (SPOES)를 이용해 화학기상증착 진공공정을 진단하였다. 본 연구에서 사용된 증착공정 장비는 silane 가스를 이용한 silicon plasma enhanced chemical vapor deposition과 borophosphosilicate glass 증착장비이다. 두 장비의 증착 또는 클리닝 조건에서의 배출되는 오염입자와 배기가스를 개발된 센서를 이용해 공정상태를 실시간으로 진단하는 것과 개발된 센서의 센싱 능력을 검증하고자 하는 목적으로 연구가 진행되었다. 개발된 센서는 장비 배기구 설치되었으며, 공정압력, 유량, 플라즈마 파워 등의 공정변수 변화에 따른 오염입자 크기 및 분포와 배기 부산물의 변화를 측정하고, 측정 결과의 상호 연관성을 분석하였다.

• Journal of Astronomy and Space Sciences
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• 제23권4호
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• pp.425-434
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• 2006

한국천문연구원에서 개발 중인 근적외선카메라 KASINICS(KASI Near Infrared Camera System)의 운용을 위한 온도 진공 모니터 시스템을 개발하였다. 이 시스템은 하드웨어 부분과 소프트웨어 부분으로 나누어지며, 온도와 진공도의 측정자료를 실시간으로 PC에서 출력하고 저장할 수 있도록 구성하였다. 이 시스템은 KASINICS와 같은 적외선카메라뿐만 아니라 극저온 냉각을 요하는 모든 장치에 적용할 수 있다. 우리는 KASINICS의 냉각 및 진공 시험을 수행하면서 우리가 개발한 모니터 시스템이 적외선카메라의 시험과 운용에 있어서 효율적이고 안정적이라는 것을 확인할 수 있었다.

• 대한기계학회논문집A
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• 제28권5호
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• pp.489-494
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• 2004

Long Period Gratings (LPG) is currently receiving considerable attention because of their consistent measuring results fur pressure, temperature, strain and flow. LPG is easier to prepare and has a high sensitivity compared with Fiber Bragg Gratings (FBG). In addition, this kind of optical fiber sensors could be used for implementations in various structures. In this paper, LPG was used to monitor in situ the resin flow and the curing process in VARTM (Vacuum Assisted Resin Transfer. Molding). In order to demonstrate the effectiveness of the method, FBG is inserted into the glass mat to monitor the resin flow using optical spectrum analyzer (OSA). The curing reactions in VARTM are also observed using the same method. From the results, the attenuation wavelength shift and the loss change of attenuation band can be obtained from the status of the RTM (Resin Transfer Molding) sample owing to the internal variations of the .effective index, temperature, and pressure. It is shown that the proposed LPG is more effective in monitoring the curing reaction than FBG.

• 한국진공학회지
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• 제12권2호
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• pp.93-104
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• 2003

저진공펌프의 내구성평가와 관련하여 펌프의 성능이나 상태의 저하에 관한 기술적 근거를 확보함으로써 펌프의 운전상태를 진단할 수 있는 기초기술을 확보할 수 있으며, 이는 진공펌프의 기계적 결함 및 성능평가 장치의 동적 응답과 신뢰도 구축에 중점을 두고 신호 분석을 통하여 실험적으로 기계적인 동적 특성을 확인하는 과정을 통하여 수행할 수 있다. 저진공펌프의 압축일에 소요되는 전력을 이론적으로 규명하고 펌프의 압축일을 계산하였으며, 소비전력에 대한 진공펌프의 에너지 효율을 예측하여 펌프 노화에 따르는 소비전력의 증가 원인을 규명하는 자료로 활용할 수 있다. 또한 저진공펌프의 가동 중에 측정한 진동, 압력신호, 배기속도 및 소비전력을 측정하고 분석하여 펌프 운전상태를 감시하는데 매우 유용한 인자가 무엇인지 확인하였으며 추후 연구의 방향과 내구성평가의 기초기술을 확보하였다.

• 콘크리트학회논문집
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• 제14권1호
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• pp.33-40
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• 2002

굳지않은 콘크리트를 진공ㆍ감압시켜 제조하는 진공콘크리트는 내부의 공극을 제거하여 조직의 밀실화를 도모하는 것으로 내마모성 및 강도개선 효과가 있는 것으로 알려져 있으며 선진국에서는 건축물 바닥, 댐콘크리트등에 실용화 된 바 있다. 본 연구는 콘크리트 제조과정에서 진공ㆍ감압 수준의 변화와 배합조건에 따른 콘크리트의 강도 및 슬럼프 등과 같은 물리적 특성변화를 관찰하고자 하였으며 연구 결과는 다음과 같다. 진공ㆍ감압콘크리트의 경우, 공기량 저하에 의한 내부공극 감소로 인한 압밀현상으로 단위용적중량과 압축강도가 증진되는 것으로 나타났으나, 시공성, 취성, 내구성능 등에 있어서는 문제 해결을 위한 지속적인 연구가 필요하다.

• 대한기계학회논문집B
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• 제22권11호
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• pp.1564-1570
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• 1998

In-situ particle monitors(ISPMs) are widely used for monitoring contaminant particles in vacuum-based semiconductor manufacturing equipment. In the present research, the performance of a Particle Measuring Systems(PMS) Vaculaz-2 ISPM at subatmospheric pressures has been studied. We created uniform upstream conditions of particle concentration and measured the detection efficiency, the lower detection limit, and the size response of the ISPM using uniform sized methylene blue aerosol particles. The effect of particle size, particle velocity, particle concentration, and system pressure on the detection efficiency was examined. Results show that the detection efficiency of the ISPM decreases with decreasing chamber pressure, and with increasing mass flow rate. The lower detection limit of the ISPM, determined at 50 % of the measured maximum detection efficiency, was found to be about $0.15{\sim}0.2{\mu}m$, which is similar to the minimum detectable size of $0.17{\mu}$ given by the manufacturer.

• 한국정밀공학회지
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• 제17권8호
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• pp.180-188
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• 2000

Fine multi-hole sheet metal product(FMSMP) is a specific metal plate which is used in color TV and computer monitor. Processes of manufacturing FMSMP are generally composed of coating cleaning exposure and etching processes. After a thin metal plate is made by rolling photosensitive liquid is coated on the metal plate in coating process. Then the coated thin metal plate consecutively passes through exposure process in which upper and lower glasses are compressed by vacuuming the space between glasses and metal plate. In this lowered glasses are compressed by vacuuming the space between glasses and metal plate. In this lowered vacuum state certain part of metal plate is desirably exposed to light and will be etched into forming lots of well-arranged holes with a specific diameter, nowadays to manufacture FMSMP of 17 inch braun tube 80 second is required for complete vacuum but 35 second is applied to manufacture FMSMP in reality. In the present study vacuuming time is tried to reduce for improvement of productivity by analyzing vacuum system and proposing several solutions, for faster vacuuming speed degree of vacuum state between glasses and metal plate is improved by the proposed method and experiments using the proposed method are performed for verification. In addition microstructure of FMSMP is investigated to prevent stain phenomena and to improve quality of the product.