게이트 유전체용 $HfO_2$ 박막의 증착 및 열처리 조건에 따른 Nano-Mechanical 특성 연구
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- 한국진공학회:학술대회논문집
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- 한국진공학회 2012년도 제43회 하계 정기 학술대회 초록집
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- pp.291-292
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- 2012