We investigate the transparent TFTs using a transparent ZnSnO3 (ZTO)/Ag/ZTO multilayer electrode as S/D electrodes with low resistivity of $3.24{\times}10^{-5}$ ohm-cm, and high transparency of 86.29% in ZTO based TFTs. The Transparent TFTs (TTFTs) are prepared on glass substrate coated 100 nm of ITO thin film. On atomic layer deposited $Al_2\;O_3$, 50 nm ZTO layer is deposited by RF magnetron sputtering through a shadow mask for channel layer using ZTO target with 1 : 1 molar ratio of ZnO : $SnO_2$. The power of 100W, the working pressure of 2mTorr, and the gas flow of Ar 20 sccm during the ZTO deposition. After channel layer deposition, a ZTO (35 nm)/Ag (12 nm)/ZTO(35 nm) multilayer is deposited by DC/RF magnetron sputtering to form transparent S/D electrodes which are patterned through the shadow mask. Devices are annealed in air at 300$^{\circ}C$ for 30 min following ZTO deposition. Using UV/Visible spectrometer, the optical transmittances of the TTFT using ZTO/Ag/ ZTO multilayer electrodes are compared with TFT using Mo electrode. The structural properties of ZTO based TTFT with ZTO/Ag/ZTO multilayer electrodes are analyzed by high resolution transmission electron microscopy (HREM) and X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). The transfer and output characterization of ZTO TTFTs are examined by a customized probe station with HP4145B system in are.
Transparent plasma display can be realized by developing the synthetic chemistry of appropriate nanophosphors and generating nanophosphor-based transparent luminescent layers. For this goal, red-emitting $Y(V_{0.5},\;P_{0.5})O_4$:Eu nanophosphors were synthesized by a facile hydrothermal route at $200^{\circ}C$ for 48 h and the resulting nanophosphors were subsequently annealed at $800^{\circ}C$ at an ambient atmosphere. The crystallographic structure, morphology, and emission property of the as-synthesized and annealed nanophosphors were compared. Choosing 2-methoxyethanol as a dispersion medium and applying a standard sonication, well-dispersed nanophosphor solutions could be prepared. Using these dispersions, visible transparent nanophosphor layers were spin-deposited on glass substrates. By combining $Y(V_{0.5},\;P_{0.5})O_4$:Eu nanophosphor layer/glass substrate as a rear plate with a front plate used in a conventional plasma display panels (PDPs), mini-sized transparent red-emitting PDPs were constructed. Transmittance and luminance properties of two transparent test panels using as-synthesized versus $800^{\circ}C$-annealed nanophosphors were characterized and compared.
High-performance, fully-transparent, and top-gated oxide thin-film transistor (TFT) was successfully fabricated with Ta2O5 high-k gate dielectric on a glass substrate. Through a self-passivation with the gate dielectric and top electrode, the top-gated oxide TFT was not affected from H2O and O2 causing the electrical instability. Heat-treated InSnO (ITO) was used as the top and source/drain electrode with a low resistance and a transparent property in visible region. A InGaZnO (IGZO) thin-film was used as a active channel with a broad optical bandgap of 3.72 eV and transparent property. In addition, using a X-ray diffraction, amorphous phase of IGZO thin-film was observed until it was heat-treated at 500 oC. The fabricated device was demonstrated that an applied electric field efficiently controlled electron transfer in the IGZO active channel using the Ta2O5 gate dielectric. With the transparent ITO electrodes and IGZO active channel, the fabricated oxide TFT on a glass substrate showed optical transparency and high carrier mobility. These results expected that the top-gated oxide TFT with the high-k gate dielectric accelerates the realization of presence of fully-transparent electronics.
Shin, Seung Won;Kim, Ki-Beom;Jung, Yong Un;Hur, Sung-Taek;Choi, Suk-Won;Kang, Seong Jun
한국진공학회:학술대회논문집
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한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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pp.241.2-241.2
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2014
We present highly transparent liquid crystal displays (LCDs) using hybrid films based on carbon nanomaterials, metal grid, and indium-tin-oxide (ITO) grid. Carbon based nanomaterials are used as transparent electrodes because of high transmittance. Despite of their high transmittance they have relatively high sheet resistance. To solve this problem, we applied grid and made hybrid conductive films based on carbon nanomaterials. Conventional photolithography processes were used to make a grid pattern of metal and ITO. To fabricate transparent conductive films, carbon nanotube (CNT) ink was spin coated on the grid pattern. The transparency of the conductive film was controlled by shape and size of the grid pattern and the thickness of CNT films. The optical transmittance of CNT-based hybrid films is 92.2% and sheet resistance is also reduced to $168{\Omega}/square$. These substrates were used for the fabrication of typical twisted nematic (TN) LCD cells. From the characteristics of LCD devices such as transmittance, operating voltage, voltage holding ratio our devices were comparable to those of pristine ITO substrates. The result shows that the hybrid conductive films based on carbon nanomaterials could be alternative of ITO for the highly transparent LCDs.
Transparent oxide semiconductors (TOSs) are. currently attracting attention for application to transparent electrodes in optoelectronic devices and active channel layers in thin-film transistors. One of the key issues for the realization of next generation transparent electronic devices such as transparent complementary metal-oxide-semiconductor thin-film transistors (CMOS TFTs), transparent wall light, sensors, and transparent solar cell is to develop p-type TOSs. In this talks, I will introduce issues and status related to p-type TOSs such as LnCuOQ (Ln=lanthanide, Q=S, Se), $SrCu_2O_2$, $CuMO_2$ (M=Al, Ga, Cr, In), ZnO, $Cu_2O$ and SnO. The growth and properties of SnO and Cu-based oxides and their application to electronic devices will be discussed.
The development of high performance transparent electrode with flexibility have been required for flexible electronics. Here, we demonstrate the silver nanowire and reduced graphene oxide hybrid transparent electrode for replacing brittle indium-tin-oxide electrode by spray coating technique and plasma reduction. The spray coating system is applied to deposit silver nanowire and over coated graphene oxide films and it has a great potential to scale-up. The resistance of silver nanowire transparent electrode is reduced by 10% and the surface roughness is decreased after graphene oxide coating. The over-coated graphene oxide is successfully reduced by $H_2$ plasma treatment and it is effective in increasing the environmental stability of electrode. The lifetime of silver nanowire and reduced graphene oxide hybrid electrode at $85^{\circ}C$ of Celsius degree of temperature and 85% of relative humidity has much increased.
Transparent conducting oxides (TCOs) were fabricated using solution-based ITO (Sn-doped $In_2O_3$) nanoinks with nanorods at an annealing temperature of $200^{\circ}C$. In order to optimize their transparent conducting performance, ITO nanoinks were composed of ITO nanoparticles alone and the weight ratios of the nanorods to nanoparticles in the ITO nanoinks were adjusted to 0.1, 0.2, and 0.5. As a result, compared to the other TCOs, the ITO TCOs formed by the ITO nanoinks with weight ratio of 0.1 were found to exhibit outstanding transparent conducting performance in terms of sheet resistance (${\sim}102.3{\Omega}/square$) and optical transmittance (~80.2 %) at 550 nm; these excellent properties are due to the enhanced Hall mobility induced by the interconnection of the composite nanorods with the (440) planes of the short lattice distance in the TCOs, in which the presence of the nanorods can serve as a conducting pathway for electrons. Therefore, this resulting material can be proposed as a potential candidate for solution-based TCOs for use in optoelectronic devices requiring large-scale and low-cost processes.
The basic characteristics of glass are highly fragile and brittle consequences the ultimate purpose of glass manufacturing is to make a transparent glass with complex shape. In order to solve this problem, mechanical properties of glass can be increased by crystallization of its amorphous glass. However, glass-ceramics has become opaque through crystallization process due to the distracted interface of glass by precipitated particles. This study has been investigated thermal processing conditions of LAS transparent glass-ceramic by using DTA (differential thermal analysis), in order to control size of precipitated particle and then fabricate transparent glass-ceramic. DTA indicated that crystallization peak area was declined with increased nucleation temperature. Subsequently, we have been established optimum temperature for crystallization depending on the nucleation temperature. The transmission and thermal expansion were measured after crystallization, and the size of precipitated particle was identified in range of 20~100 nm by FE-SEM. In addition, by setting the optimized crystallization condition, with high transmission and low thermal expansion glass was synthesized through this experiment.
Transparent conductive films of single wall carbon nanotube (SWCNT) were prepared by spray coating method. The effect of acid treatment on the SWCNT films was investigated. The field emission scanning electron microscope (FESEM) shows that acid treatment can remove dispersing agent. The electrical and optical properties of acid-treated films were enhanced compared with those of as deposited SWCNT films. Nitric acid ($HNO_3$), sulfuric acid ($H_2SO_4$), nitric acid:sulfuric acid (3:1) were used for post treatment. Although all solutions reduced sheet resistance of CNT films, nitric acid can improve electrical characteristics efficiently. During acid treatment, transmittance was increased continuously with time. But the sheet resistance was decreased for the first 20 minutes and then increased again. Post-treated SWCNT films were transparent (85%) in the visible range with sheet resistance of about $162{\Omega}/sq$. In this paper we discuss simple fabrication, which is suitable for different types of large-scale substrates and simple processes to improve properties of SWCNT films.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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