3-5 $\mu m$ 적외선 흡수체를 가진 전면 건식 식각된 서모파일과 NDIR $CO_2$ 가스 센서의 응용
(A Front-side Dry-Etched Thermopile Detector with 3-5 $\mu m$ Infrared Absorber and Its Application to Novel NDIR $CO_2$ Gas Sensors)
-
- 대한전기학회:학술대회논문집
- /
- 대한전기학회 2008년도 제39회 하계학술대회
- /
- pp.1470-1471
- /
- 2008