Thermal displacement minimization of an oxide target for bonding process by finite element analysis and optimal design (유한요소해석과 최적설계 기법을 활용한 증착용 산화물타겟 접합공정에서의 열 변형 최소화 연구)
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- Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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- v.30 no.5
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- pp.208-213
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- 2020