Electrical Characterization of Ultrathin $SiO_2$ Films Grown by Thermal Oxidation in $N_2O$ Ambient
($N_2O$ 분위기에서 열산화법으로 성장시킨 $SiO_2$ 초박막의 전기적 특성)
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- Korean Journal of Materials Research
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- v.4 no.1
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- pp.63-74
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- 1994