Microlens and Arrays Fabrication by the Modified LIGA and Hot Embossing Process (변형 DEEP X-ray 공정과 Hot Embossing 공정을 이용한 마이크로 렌즈 및 어레이의 제작)
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- Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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- 2003.06a
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- pp.228-232
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- 2003