Cr-Zr-Al segment 타겟을 장착한 Unbalanced magnetron sputtering 활용하여 증착한 CrZr-Al-N 박막의 thermal stability와 microstructure에 관한 연구 (Thermal stability and microstructure of CrZr-Al-N films synthesized by unbalanced magnetron sputtering with Cr-Zr-Al segment target)
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- 한국표면공학회:학술대회논문집
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- 한국표면공학회 2012년도 춘계학술발표회 논문집
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- pp.173-173
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- 2012