Characteristics of $Al_2O_3/TiO_2$ multi-layers as moisture permeation barriers deposited on PES substrates using ECR-ALD
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- 한국진공학회:학술대회논문집
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- 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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- pp.457-457
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- 2010